E.F.U > Thiết bị điều hoà không khí

Exhaust Fan Unit- Nó được lắp đặt ở bên cạnh hoặc phía trên của thiết bị sản xuất FPD, chất bán dẫn. Đơn vị thiết bị này có chức năng duy trì áp lực bên trong thiết bị và duy trì độ sạch bên trong của thiết bị cung cấp không khí sạch.